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Semiconductor Apparatus D-bot

제품설명

- For Safe & Convenient Preventive Maintenance 


장비로부터 떨어진 곳에서 Manifold Assy’를 조립 혹은 분해 가능하기 때문에, 인체에 유해한 잔재가스의 흡입율이 낮습니다.
특수설계된 캐비닛을 이용하여 Manifold Assy’를 미리 조립해서 보관 가능하며, PM시 한번에 설치 가능하여 편리함을 추구합니다.


사용과정