목록 본문 Wasco switch 제품설명 UHP 가스 취급 요구사항 ▪ 반도체 제조 공정의 발전에 따라 초순도 (UHP)의 가스가 요구됨. - 순도: 99.999% 이상 - 압력과 유량의 정밀 조정이 필요해짐. - 오염 발생을 피해야 함. ↓ ▪ 가스 공급 장치 및 부품 요구 사양 - 부식및 오염 발생 차단 - 최고 순도의 재질 사용 - 최고 수준의 내부 표면 상태 - 최적 연결 장치 - SEMI E49 규격 - 안전도 - 정확도와 시스템 안정성 유지UC8/UC9 시리즈 ▪ Absolute Reference 와 Gauge Reference▪ 최고 수준의 부식방지성- SEMI F20 규격 316L SUS 재질- Elgiloy 특수 합금 다이아프램▪ 5 Ra 표면 퀄리티▪ 분리 가능한 M8 규격 코넥터▪ 광범위한 성능및 안정성 시험- 안정성 시험: 2,000,000 싸이클 이상- 누출도 시험: 1 x 10-9 cc/sec He- Proof and Burst 압력 시험- 가동및 보관 온도 시험- 부식성 시험: ASTM CPT Test 규격- 청정도 시험: ASTM Particle Count 규격 UHP 150/160 시리즈 ▪ Gauge Reference ▪ All welded SUS 재질 ▪ Capsule타입 센서 : 2개의 다이아프램 용접된 구조 ▪ 하부의 다이아프램 본체에 직접 용접되어 누출 방지. ▪ 본체 : SUS 316 ▪ 다이아프램 : SUS 17-7 ▪ 열처리 ▪ 반도체 장비에 수십년간 사용됨 - 체임버 압력 스위치성능시험 ▪내구성 평가 - 기능 시험: 2,000,000 회 이상 - 내구성 시험 100,000회 당 성능 시험 시행 ▪온도 검사 - 가동 온도 검사 ( -20⁰ to 60⁰ C) - 보관 온도 검사 (-40⁰ C to 100⁰ C) ▪He 누출 검사 (내부침투 / 외부누출)▪압력 검사 (Proof 압력 / Burst 압력)▪기능 검사 (선형도 / 정확도)▪부식 방지성 검사